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AnPT V30 系列等離子機
2020-10-14 15:39:39
V30 系列等離子機
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型號 |
AnPT-V30 |
AnPT-V30X |
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生產板尺寸 |
板厚 |
0.1-12mm (<1mm, 掛架需要定制) |
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標準 |
22x27”(30片) |
25x30”(30片) |
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最大 |
27x44”(15片) |
30x50”(15片) |
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Cycle Time |
Desmear |
20-30min |
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Desmear+活化 |
30-45min |
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產能 |
Desmear |
60-90 pnl/hour |
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Desmear+活化 |
30-45 pnl/hour |
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均勻性 |
>80% |
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左中右三槽；每槽5-9個點 |
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蝕刻速率 |
>0.3um/min |
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CF4用量(運行成本) |
3%-8% (Desmear) |
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真空能力 |
極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT |
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射頻電源 |
10KW/40KHz |
10KW/40KHz |
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氮氣發生器純度 |
99% |
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升溫速率 |
1-2℃/min; (獨特設計，減少升溫時間) |
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優異的均勻性、高產能；低生產成本n 滿足MSAP/HDI板,高厚徑比硬板，Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求，具有良好的工藝性能 n 優異的工藝性能，具備較高的處理均勻性和蝕刻速率 n 垂直-雙極饋電型電極，保證產品雙面同步均勻處理 n 獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計，確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效 n 高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求 n 可靈活配置電極及氣體分配方案，適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求 n 觸控式操作界面，直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量 n 整機設計緊湊，一體化設計整合各組件于主機器內， 占地面積小 n 極低的生產保養成本、維護簡單便捷 n 40KHz自適應射頻電源，具有優異的穩定性和工藝可 重復性 |
AnPT V30 系列等離子機
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應用領域n 孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI n Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除 n Etch Back回蝕/凹蝕 n Carbon Removal碳化物去除 l 激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物) l Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除 n PTFE活化，確保高頻、通訊、背板等孔金屬化性能 n Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留) n 綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除 n 納米級表面粗化、應力釋放 n 表面活化與清潔 n 表面改性 l 層壓前處理改善材料間結合力，消除壓合層分層 l PI粗化，補強前處理，增強補強貼合結合力 l 防焊前處理，有效防止涂覆防焊油墨脫落 l 絲印字符前處理，保證字符清晰、無脫落 l 材料表面活化改性，改善難粘材料間可粘性，提升粘接結合力 l 改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性
n V30系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求 |
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AnPT V30 標準技術規格
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設備尺寸及 規格 |
長x寬x高 |
V30:1960x1450x1960(mm) V30X:1960x1585x2135(mm) |
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凈重 |
V30S 1450Kg; V30 1700Kg; V30X 1800Kg |
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工藝腔體 |
腔體尺寸(長x寬x高) |
V30S 34x34x38(in.) V30 34x45x38(in.) V30X 34x52x38(in.) |
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處理槽數 |
15 槽 |
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電極 |
電極尺寸 有效處理面積 |
V30S 33x26(in.) V30 44x27(in.) V30X 50x30(in.) |
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電極類型 |
柵欄式標準溫控電極 |
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射頻電源 |
功率規格 |
5KW /10KW /10KW |
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頻率 |
40KHz |
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氣體控制 |
標準規格 其它可選配 |
標準_5slm,2slm,0.5slm 選配_2slm,2slm |
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質流量計最多可配置數 |
5 |
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真空泵 |
干式真空泵 |
GXS160/1750F HV MD RE CA |
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冷卻水流量 |
3slm |
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凈化氮氣流量 |
10slm |
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控制系統 |
人機界面 |
PLC+觸屏人機界面 |
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廠務要求 |
供電需求 |
380V,50A,三相四線，50Hz |
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工藝氣體接口 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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工藝氣體種類及純度 |
CF4=99.999%; O2=99.999%; N2=99.999%; H2=99.999%; Ar=99.999% |
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工藝氣體供應壓力 |
20psi((0.15MPa) |
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凈化氮氣接口 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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凈化氣體純度 |
99.9% |
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凈化氣體供應壓力 |
20psi((0.15MPa) |
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壓縮空氣接口類型 |
1/4 in.(6.35mm) 卡套接口 |
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壓縮空氣要求 |
潔凈、干燥 |
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壓縮空氣供應壓力 |
80-100psi |
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尾氣接口 |
NW40 |
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電極冷卻水 |
蒸餾水 |
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冷卻水接口 |
RC 1/2in.(12.7mm) |
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選配設備 |
氮氣發生器 |
35L/min(2立方米/小時) |
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冷水機 |
25KW制冷量 |
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380V,三相，6.5KW |
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廢氣塔 |
220V,單相 |
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